Nguyên tố

Từ Na đến U

Ống phóng tia X

Bia Rh / Điện thế 50kV  / Dòng điện 1mA

Đầu dò huỳnh quang tia X

Đầu dò Silic Drift Detector (SDD) được làm lạnh bằng điện - hiệu ứng Peltier

Đầu dò tia X truyền qua

Lớp chất nhấp nháy Nai (Tl)

Ống dẫn tia X

Ống mao dẫn đơn sắc 10μm / 100μm không có bộ lọc

Hình ảnh quang học

Toàn bộ hình ảnh quang học của mẫu và hình ảnh phóng đại đồng trục

Kích thước bệ mẫu XY

100 mm × 100 mm

Buồng mẫu

Buồng chân không/ chân không tối đa 300 × 300 × 80 mm

Xử lý tín hiệu

Bộ xử lý kỹ thuật số (bộ INCA)

Phân tích định tính

Tự động nhận dạng/  Đánh dấu KLM/ Tìm đỉnh/ So sánh các phổ 

Phân tích định lượng

FPM không theo chuẩn / Chuẩn FPM / FPM phù hợp file chuẩn/ Đường cong hiệu chuẩn / FPM đa lớp (đo độ dày) /Phân tích đa điểm(Max5000) /  Kết quả đa điểm kết xuất ra file Excel / Quan sát phổ XGT-5000

Chức năng vẽ bản đồ

Hình ảnh tia X truyền qua / Hình ảnh nguyên tố/ Lập bản đồ phổ/ Lập bản đồ hình chữ nhật/ Tạo phổ / Thành phần RGB/ Đánh dấu tỉ lệ / Phân tích theo đường thẳng

Chức năng khác

Có thể khởi động đồng thời phần mềm XGT-5200.