Các công nghệ cảm biến lực đang ngày càng có ý nghĩa đối với các mục đích điều trị y tế xâm lấn tối thiểu. Các nhà nghiên cứu đã đề xuất một cảm biến xúc giác MEMS 3 trục nhỏ có thể được cài đặt trong đầu dẫn hướng của ống thông được sử dụng cho điều trị bệnh mạch máu não. Để đặt ống thông vào mạch máu nội sọ, cảm biến xúc giác được yêu cầu phải có dạng hình trụ (ống) với đầu bán cầu. Cảm biến xúc giác bao gồm ba phần: đầu polymer hình bán cầu được sử dụng làm bộ phận tiếp xúc trực tiếp với thành mạch máu, màng silicon đơn tinh thể bao gồm các yếu tố piezoresistive cho cảm biến lực và chất nền silicon dạng silicon-vias (TSV) được sử dụng như một kết nối điện dọc đi xuyên hoàn toàn qua chất nền; chúng được lắp ráp bởi một quy trình đóng gói cấp độ từng phần nhỏ dựa trên liên kết eutectic, vàng, thiếc.