Chip cảm biến áp suất ứng dụng rộng rãi trong đời sống, công nghiệp và y tế đã được Trung tâm Nghiên cứu triển khai (R&D) thuộc Khu công nghệ cao TPHCM và Trung tâm Nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch (ICDREC) công bố chế tạo thành công.
Vừa qua, hai trung tâm này công bố sản phẩm chịp cảm biến do hai trung tâm hợp tác thực hiện đã hoàn thiện quy trình chế tạo, kiểm soát được yếu tố kỹ thuật như mở rộng và hoạt động được trong nhiều dải áp suất, cũng như kiểm soát được độ nhạy, độ ổn định, độ tuyến tính…
Đây là con chip theo công nghệ vi cơ điện tử (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems)đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một wafer (tấm nền silicon), với nhiều kích thước và dải đo khác nhau.
Con chip này được ứng dụng rộng rãi trong đời sống, công nghiệp và y tế, như dùng trong thiết bị kiểm soát áp suất đường ống, khí gas; thiết bị đo mực nước của máy giặt, máy rửa chén, bồn nước; đo mực nước trong các công trình thủy lợi, chống ngập; thiết bị đo huyết áp…
Bước đầu, chip cảm biến áp suất này đã được sản xuất ở quy mô phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%, nghĩa là trên một wafer 4 inch (với 150 con chip), số lượng sản phẩm đạt chuẩn trên 80% (sản xuất bằng tay). Nếu sản xuất trên dây chuyền công nghiệp, tỷ lệ này ước đạt trên 95%.
Hiện nay, Công ty Global Technical Service (hoạt động tại Khu công nghệ phần mềm Quang Trung - TPHCM) đã quan tâm đến sản phẩnm này và đã ký thỏa thuận hợp tác để ứng dụng chip cảm biến áp suất trong việc sản xuất thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước.
Mặc dù vậy, việc tìm kiếm thêm nhà đầu tư, doanh nghiệp để tham gia hợp tác thương mại hóa sản phẩm nghiên cứu này, theo hai đơn vị nói trên, là vấn đề khó khăn hiện nay.
Nguồn: Báo công thương ngày 10/5/2014