MappIR II là máy lấy mẫu tự động chuyên dùng để phân tích tấm bán dẫn, có thể lắp vừa hoàn toàn vào buồng mẫu của thiết bị FTIR. Với bàn định vị mẫu tích hợp, thiết bị này là công cụ hỗ trợ đắc lực cho ngành công nghiệp bán dẫn, cho phép phân tích lớp epitaxy (EPI), lớp thủy tinh photphat hóa boron (BPSG), cũng như đo hàm lượng oxy và carbon trên các tấm silicon có kích thước từ 2 đến 8 inch (50 đến 200 mm).

TỔNG QUAN:

• Đo và lập bản đồ nhiều vị trí trên tấm bán dẫn hoàn toàn tự động
• Có thể phân tích tấm bán dẫn kích thước lên đến 8 inch (200 mm)
• Hỗ trợ các phương pháp lấy mẫu phản xạ gương và truyền qua
• Có thể lắp thêm bộ giá đỡ tùy chọn cho các kích thước tấm từ 2 đến 8 inch
• Buồng làm việc kín có tích hợp hệ thống xả khí bảo vệ, hỗ trợ phân tích EPI, BPSG, và xác định oxy, carbon.