Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu Công nghệ cao TP.HCM (SHTPLABS) phối hợp với Trung tâm Nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch (ICDREC) Đại học Quốc gia TP.HCM vừa công bố việc sản xuất thành công chip cảm biến áp suất bằng công nghệ vi cơ điện tử MEMS.
Chíp có các kích thước: 8 x 10 mm, 6 x 8 mm, 3 x 5 mm, hoạt động ở nhiều dải đo từ 0-1 Bar, 0-10 Bar, 0-20 Bar…tùy theo yêu cầu sử dụng. Nhiệt độ hoạt động từ -40 đến 150 độ C, độ tuyến tính dưới 1%. Sản phẩm có giá trị rất rẻ, độ ổn định và độ lặp lại cao.
Đây là con chip đầu tiên của Việt Nam được sản xuất quy mô nhiều chip trên một wafer, với nhiều kích thước và dải đo khác nhau. Bước đầu, chip cảm biến áp suất đã được sản xuất ở quy mô phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%.
Nghĩa là trên một wafer 4 inch sẽ sản xuất được 150 con chip, số lượng sản phẩm đạt chuẩn trên 80% (sản xuất bằng tay). Nếu sản xuất trên dây chuyền công nghiệp, tỷ lệ này ước đạt trên 95%. Hiện tại, Công ty Global Technical Service đã ký thỏa thuận hợp tác để ứng dụng chíp cảm biến áp suất trong việc sản xuất thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước.
Nguồn: Tạp chí Khoa học công nghệ Việt Nam, ngày 18/5/2014 |